SEMOZON? AX8585 獨(dú)立式臭氧氣體輸送系統(tǒng)是圍繞 AX8410 PRIME 臭氧發(fā)生器設(shè)計(jì)的，可提供高流量、高濃度、超潔凈的臭氧產(chǎn)生和輸送。這條完全可配置的產(chǎn)品線旨在滿足半導(dǎo)體行業(yè)不斷變化的需求。每個(gè) SEMOZON AX8585 都是一個(gè)完全集成的高輸出臭氧氣體輸送系統(tǒng)，旨在用于越來(lái)越多的半導(dǎo)體工藝應(yīng)用，例如 ALD、CVD、TEOS/臭氧 CVD、光刻膠剝離、晶片清潔、污染物去除和氧化物生長(zhǎng)。

特點(diǎn)

完全集成的交付系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)快速、輕松的安裝和快速啟動(dòng)，所需的連接少

支持單個(gè)或多個(gè)工藝工具，以實(shí)現(xiàn)高效率和更低的運(yùn)營(yíng)成本

模塊化設(shè)計(jì)允許每個(gè)通道進(jìn)行過(guò)程匹配以獲得大的靈活性

閉環(huán)濃度控制提供更嚴(yán)格的過(guò)程控制以提高產(chǎn)量

帶有觸摸屏的用戶友好型控制器為與工具連接、設(shè)置臭氧濃度和流速以及安全監(jiān)控提供了簡(jiǎn)單的中央控制

規(guī)格

類型：臭氧氣體輸送系統(tǒng)

臭氧輸出：375g/Nm 3

流量：每臺(tái)發(fā)電機(jī) 22.7 lpm (6.0 gpm)

原料氣：氧氣、氮?dú)猓偭髁康?100 - 1000 ppm）

原料氣供應(yīng)壓力：O2 壓力 55 ±2 psig (379 ±13.5 kPa, 3.8 ±0.14 kg/cm 2 ), N2 壓力 60 ±2 psig (413 ±13.5 kPa, 4.12 ±0.14 kg/cm 2 )

原料氣純度：氧氣：6 級(jí)或更好的 O2，氮?dú)猓? 級(jí)或更好的 N2

工作溫度：5 - 40°C (41 - 104°F)

所需冷卻水溫度：5 - 25°C (41 - 77°F)

需要冷卻水過(guò)濾：100微米

所需的冷卻水質(zhì)量：3 - 0.5 MΩcm DI

所需的冷卻水 很小流量：每臺(tái)發(fā)電機(jī) 22.7 lpm (6.0 gpm)（取決于配置）

需要冷卻水連接：1 英寸壓縮 (Swagelok?)

所需冷卻水熱負(fù)荷：每臺(tái)發(fā)電機(jī) 11 千瓦

電壓要求：208 伏交流電 (±10%)，三相

頻率：50/60 赫茲

排氣流量：每臺(tái)發(fā)電機(jī) 70.8 l/s (150 cfm)

排氣類型：SEMI 類別 4（危險(xiǎn)氣體或蒸氣的意外或緊急釋放）

排氣靜壓： 很小 3.05 毫米（0.16 英寸）H2O，在機(jī)柜管道入口處測(cè)量

控制氣壓：70 - 100 磅/平方英寸（483 - 689 千帕）

控制空氣類型：CDA 或干燥氮?dú)猓?0μ 過(guò)濾

控制空氣接頭：0.25 英寸壓縮 (Swagelok?)

排氣連接：8 英寸直徑的管道開口

尺寸：28.4 x 81.7 x 41.4 英寸（722 x 2074 x 1051 毫米）（寬 x 高 x 深）

相對(duì)濕度：30 - 90%（非冷凝）

重量：345 kg (760 lb) 用于帶一臺(tái)發(fā)電機(jī)的系統(tǒng)

遵守：CE、UL/CSA、半 S2、半 F47

高度： 很高高于平均海平面 1000 m (3280 ft)